一种低压控制晶硅片磷扩散系统

基本信息

申请号 CN201711115386.0 申请日 -
公开(公告)号 CN108010988A 公开(公告)日 2018-05-08
申请公布号 CN108010988A 申请公布日 2018-05-08
分类号 H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 杨斌;訾浩明;都基庆 申请(专利权)人 江苏爱多能源科技股份有限公司
代理机构 南京知识律师事务所 代理人 江苏爱多能源科技有限公司
地址 214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇宝池路1号
法律状态 -

摘要

摘要 一种低压控制晶硅片磷扩散系统,本发明涉及太阳能电池板技术领域;它包含石英扩散管、真空泵、尾气管、压力传感器、进气管、控制阀门;所述的真空泵通过管道与石英扩散管的尾气管连接,连接管道上设有压力传感器和控制阀门;所述的进气管连接在石英扩散管上。能够控制电池片的方块电阻的稳定性和单片的均匀性,提升制程控制水平;由于采用了低压扩散的方式,可以大幅度的降低扩散使用磷源,从而降低生产成本,更好的满足不同客户的需求,实用性更强。