一种低压控制晶硅片磷扩散系统
基本信息
| 申请号 | CN201711115386.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108010988A | 公开（公告）日 | 2018-05-08 |
| 申请公布号 | CN108010988A | 申请公布日 | 2018-05-08 |
| 分类号 | H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨斌;訾浩明;都基庆 | 申请（专利权）人 | 江苏爱多能源科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京知识律师事务所 | 代理人 | 江苏爱多能源科技有限公司 |
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇宝池路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种低压控制晶硅片磷扩散系统，本发明涉及太阳能电池板技术领域；它包含石英扩散管、真空泵、尾气管、压力传感器、进气管、控制阀门；所述的真空泵通过管道与石英扩散管的尾气管连接，连接管道上设有压力传感器和控制阀门；所述的进气管连接在石英扩散管上。能够控制电池片的方块电阻的稳定性和单片的均匀性，提升制程控制水平；由于采用了低压扩散的方式，可以大幅度的降低扩散使用磷源，从而降低生产成本，更好的满足不同客户的需求，实用性更强。 |
