一种多晶硅定向凝固装置

基本信息

申请号 CN201920757557.8 申请日 -
公开(公告)号 CN210287582U 公开(公告)日 2020-04-10
申请公布号 CN210287582U 申请公布日 2020-04-10
分类号 C30B29/06;C30B28/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 赵新田;李强;阮传山;于建明;乔宁波;张翼飞;刘学山;武叶芳 申请(专利权)人 石河子市华新新材料有限公司
代理机构 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 石河子市华新新材料有限公司;新疆西部合盛硅业有限公司;新疆东部合盛硅业有限公司
地址 832000 新疆维吾尔自治区石河子市石河子开发区56小区9栋102号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,及具体涉及一种多晶硅定向凝固装置,其包括:支架、腔体、盖体和散热机构;腔体设置在支架上;腔体包括:底座和墙体;四个墙体竖直设置在底座上;四个墙体依次连接,与底座形成矩形容腔;底座包括:钢结构层和碳化硅砖层;碳化硅砖层设置在钢结构层的上侧;墙体由内向外依次为:高纯铝层、耐热纤维保温层、纳米绝热层和钢材料层;盖体盖设在腔体上;盖体的一端具有开口,与腔体的开口对应设置;盖体由内向外依次为:刚玉保温层和耐高温陶瓷纤维层;耐高温陶瓷纤维层内设置有纳米绝热板;盖体上设置有加热构件;加热构件沿盖体的内腔设置;散热机构设置在底座的下方,用于向底座的中部喷吹空气。