一种辉光放电质谱高纯镓测试方法

基本信息

申请号 CN202110525400.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113533493A 公开(公告)日 2021-10-22
申请公布号 CN113533493A 申请公布日 2021-10-22
分类号 G01N27/68;G01N1/44;G01N1/42;G01N1/36 分类 测量;测试;
发明人 徐国军;张蛟;兰邦银;蒋明伟;杨谢行 申请(专利权)人 宣城先进光伏技术有限公司
代理机构 北京风雅颂专利代理有限公司 代理人 方昊
地址 242000 安徽省宣城市宣城经济技术开发区青弋江大道宣城科技园B19-1幢106室
法律状态 -

摘要

摘要 本说明书一个或多个实施例提供一种辉光放电质谱高纯镓测试方法,包括将固态镓通过加热得到液态镓,清洗聚四氟乙烯模具,待风干后,将聚四氟乙烯模具放入冷却装置上,将液态镓倒入放置在冷却装置上的聚四氟乙烯模具中,并在设定时间内转移至超净工作台内,静置直到获得成型的样品,将成型的样品固定好,并装入GDMS的样品室中进行抽真空,样品通过半导体制冷方式降温在设定时间内进行放电,通过放电溅射去除表面的污染,待信号稳定后通过GDMS采集数据并分析,分析结束后,记录数据并保存,实现了对镓、铟这类低熔点的金属,可通过转化形态的方式获得待测平面进行测量的问题。