一种太阳能电池用光致化学沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN201220432679.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202744625U | 公开（公告）日 | 2013-02-20 |
| 申请公布号 | CN202744625U | 申请公布日 | 2013-02-20 |
| 分类号 | C23C16/48(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 夏洋 | 申请（专利权）人 | 浙江科民能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 | 代理人 | 赵芳;徐关寿 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区华严里27号4门511号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种太阳能电池用光致化学沉积装置，包括补液系统、沉积系统，所述补液系统包括放置反应溶液的补液腔体，所述补液腔体内的底部安装有第一加热装置，其上部安装有第一在线温度监测装置，所述补液腔体上设有将液体输送至沉积系统的液体输出管道，其内在液体输出管道的上方设有过滤装置，所述液体输出管道上安装有液体流量计；所述沉积系统包括沉积反应腔体，所述沉积反应腔体的底部安装有第二加热装置、鼓泡装置、时间控制器以及循环装置，所述沉积反应腔体内安装有将硅片固定在沉积反应腔体内的真空吸附装置，其上方安装有第二在线温度监测装置及光照系统。本实用新型的有益效果：可用于低成本，无损伤二氧化硅薄膜的沉积。 |
