一种双模式MEMS气体传感器及其工作方法
基本信息
| 申请号 | CN201911262205.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110988051A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110988051A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | G01N27/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 雷鸣;刘曰利;饶吉磊;詹欢欢;熊艳 | 申请（专利权）人 | 武汉微纳传感技术有限公司 |
| 代理机构 | 武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 武汉微纳传感技术有限公司 |
| 地址 | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大园路5-1号国家地球空间信息产业基地南主楼1单元4层01号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种双模式MEMS气体传感器，包括衬底、第一绝缘支撑层、电阻加热层、第二绝缘支撑层、温度感测电极、第一叉指电极、第二叉指电极、掺杂贵金属催化剂金属氧化物半导体材料及微控器；第一绝缘支撑层设置在衬底上，电阻加热层设置在第一绝缘支撑层上，第二绝缘支撑层覆盖在电阻加热层上。第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极设置在第二绝缘支撑层上。掺杂贵金属催化剂金属氧化物半导体材料覆盖在第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极上。温度感测电极位于第一叉指电极和第二叉指电极之间。本发明提供的双模式MEMS气体传感器，可对环境中各种浓度有毒有害气体和可燃气体进行有效检测。 |
