一种催化燃烧式MEMS气体传感器及其工作方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种催化燃烧式MEMS气体传感器及其工作方法

基本信息

申请号	CN201911261234.0	申请日	-
公开（公告）号	CN110988049A	公开（公告）日	2020-04-10
申请公布号	CN110988049A	申请公布日	2020-04-10
分类号	G01N27/12	分类	测量；测试;
发明人	雷鸣;刘曰利;饶吉磊;詹欢欢;熊艳	申请（专利权）人	武汉微纳传感技术有限公司
代理机构	武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	武汉微纳传感技术有限公司
地址	430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大园路5-1号国家地球空间信息产业基地南主楼1单元4层01号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种催化式MEMS气体传感器及其工作方法，传感器包括衬底、第一绝缘支撑层、电阻加热层、第二绝缘支撑层、温度感测电极层、催化材料层及微控器。第一绝缘支撑层设置在衬底上，电阻加热层设置在第一绝缘支撑层上，第二绝缘支撑层覆盖在电阻加热层上；温度感测电极层设置在第二绝缘支撑层上，催化材料层附着在温度感测电极层和第二绝缘支撑层加热工作区域上部；微控器设置在衬底上。方法包括：控制微控器得到加热电阻层、温度感测电极层的加热功率及加热温度；控制电阻加热层工作温度恒定；气体传感器周期性工作在恒定低温、恒定中温、恒定高温下。本发明提供的催化燃烧式MEMS气体传感器及其工作方法，传感器响应时间快、功耗低、成本低。