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一种带温度感测功能的MEMS气体传感器及其制备方法

基本信息

申请号	CN201911262199.4	申请日	-
公开（公告）号	CN110988050A	公开（公告）日	2020-04-10
申请公布号	CN110988050A	申请公布日	2020-04-10
分类号	G01N27/12;G01K7/16	分类	测量；测试;
发明人	雷鸣;刘曰利;饶吉磊;詹欢欢;熊艳	申请（专利权）人	武汉微纳传感技术有限公司
代理机构	武汉蓝宝石专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	武汉微纳传感技术有限公司
地址	430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大园路5-1号国家地球空间信息产业基地南主楼1单元4层01号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种带温度感测功能的MEMS气体传感器，包括：衬底、第一绝缘支撑层、电阻加热层、第二绝缘支撑层、第一叉指电极、第二叉指电极、温度感测电极及气敏材料层；第一绝缘支撑层设置在衬底上，电阻加热层设置在第一绝缘支撑层上，第二绝缘支撑层覆盖在电阻加热层上；第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极设置在第二绝缘支撑层上；气敏材料层覆盖在第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极上；第一叉指电极、第二叉指电极和温度感测电极位于同一层内，温度感测电极位于第一叉指电极和第二叉指电极之间。本发明提供的带温度感测功能的MEMS气体传感器，电阻加热层在寿命周期内不需要长时间承受较大电流的冲击，可解决电阻老化的技术问题。