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一种真空镀膜卧式炉内壁结构

基本信息

申请号 CN201822155628.5 申请日 -
公开（公告）号 CN209169102U 公开（公告）日 2019-07-26
申请公布号 CN209169102U 申请公布日 2019-07-26
分类号 H01J37/32（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 夏原 申请（专利权）人 包头中科泰磁涂层科技有限责任公司
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 胡剑辉
地址 014000 内蒙古自治区包头市包头稀土高新区富强南路163号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空镀膜卧式炉内壁结构，包括镀膜炉壁，镀膜炉壁包括桶基层、不锈钢隔热屏层和钼隔热屏层，不锈钢隔热屏层的外侧和内侧分别与桶基层无缝、钼隔热屏层无缝连接，桶基层内部设有水冷夹层和隔热夹层，钼隔热屏层内壁上均匀安装有若干半球凸块，且钼隔热屏内壁和半球凸块侧面均涂有陶瓷涂料层，半球凸块与小型工件接触面积极小，工件镀膜效率高，解决了靶及靶表面落料问题，大大提高产品合格率，多个不锈钢隔热屏、多个钼隔热屏和隔热夹层内的隔热物质叠加能起到很好地隔热作用，使散发到外界的热量降低到最小，极大地降低了热量损失，从而使热量更好地得以保存，节省了真空镀膜的电功率和成本。