一种溅射靶材焊接方法
基本信息
| 申请号 | CN201811168191.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108994444A | 公开（公告）日 | 2018-12-14 |
| 申请公布号 | CN108994444A | 申请公布日 | 2018-12-14 |
| 分类号 | B23K20/12 | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 大岩一彦;姚科科;张瑾;广田二郎;兵藤芳温;吕培聪 | 申请（专利权）人 | 宁波顺奥精密机电有限公司 |
| 代理机构 | 北京东正专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宁波顺奥精密机电有限公司 |
| 地址 | 315403 浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开的一种溅射靶材焊接方法，包括如下步骤：(1)将溅射靶材主材、辅材之间的焊接间隙调整为≤0.3mm；(2)使用搅拌摩擦焊接机进行焊接：将搅拌摩擦焊接机上的旋转刀具插入焊接间隙的深度为10.5‑11mm，旋转刀具旋转进行焊接，在旋转刀具旋转焊接时，辅材随着主材旋转。本发明的优点在于，节省了制作溅射靶材的原材料的成本，并且保证了高的焊接率，采用本发明焊接方法在规模化生产时成本也会降低，从而能够规模化生产出低成本的溅射靶材，再将该靶材用于芯片制造时，就大大降低了芯片制造的成本。 |
