一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液
基本信息
| 申请号 | CN200610005365.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101003736A | 公开（公告）日 | 2007-07-25 |
| 申请公布号 | CN101003736A | 申请公布日 | 2007-07-25 |
| 分类号 | C09K13/04(2006.01);C23F1/16(2006.01);H01J9/02(2006.01) | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 郭太良;张永爱;雷晓阳 | 申请（专利权）人 | 厦门火炬福大显示技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361006福建省厦门市厦门火炬开发区火炬大厦南五楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液，它包含盐酸HCl和水，其特征是它还包含一定量的抑制剂和氧化剂，且它们之间按如下比例(重量比)配制：HCl∶H2O∶抑制剂∶氧化剂＝7∶1.7∶1.0～1.7∶0.09～0.12本发明由于在刻蚀液中加入一定的抑制剂和氧化剂，使得刻蚀液可以在常温下刻蚀ITO膜，且刻蚀后的ITO电极钻蚀较小，边缘平滑整齐，同时不影响汇流电极中的金属电极，从而大大提高汇流电极的发射能力，提高平板显示器的显象质量。此外，本发明在刻蚀过程中由于受抑制剂的作用，盐酸溶液不易挥发，从而使环境不受污染。 |
