一种FED薄膜型金属电极的制备方法
基本信息
申请号 | CN200610005364.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN101004993A | 公开(公告)日 | 2007-07-25 |
申请公布号 | CN101004993A | 申请公布日 | 2007-07-25 |
分类号 | H01J9/02(2006.01) | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 郭太良;张永爱;雷晓阳 | 申请(专利权)人 | 厦门火炬福大显示技术有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 361006福建省厦门市厦门火炬开发区火炬大厦南五楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种FED薄膜型金属电极的制备方法,通过改变光刻胶的固膜温度及时间,使光刻胶与玻璃基板附着力更好,可以在碱性溶液中刻蚀,并且刻蚀过程容易控制,有效地克服了金属电极的钻蚀现象,大大提高了平板显示器的显像质量,该方法实现简单,又不需要特制的光刻胶就能实现平板显示器件中的金属电极的制备。 |
