一种FED薄膜型金属电极的制备方法

基本信息

申请号 CN200610005364.4 申请日 -
公开(公告)号 CN101004993A 公开(公告)日 2007-07-25
申请公布号 CN101004993A 申请公布日 2007-07-25
分类号 H01J9/02(2006.01) 分类 基本电气元件;
发明人 郭太良;张永爱;雷晓阳 申请(专利权)人 厦门火炬福大显示技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 361006福建省厦门市厦门火炬开发区火炬大厦南五楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种FED薄膜型金属电极的制备方法,通过改变光刻胶的固膜温度及时间,使光刻胶与玻璃基板附着力更好,可以在碱性溶液中刻蚀,并且刻蚀过程容易控制,有效地克服了金属电极的钻蚀现象,大大提高了平板显示器的显像质量,该方法实现简单,又不需要特制的光刻胶就能实现平板显示器件中的金属电极的制备。