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一种单晶炉炉底冷却装置及单晶炉

基本信息

申请号 CN202021495027.X 申请日 -
公开（公告）号 CN213417069U 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN213417069U 申请公布日 2021-06-11
分类号 C30B15/00;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘杰;马自成 申请（专利权）人 四川永祥硅材料有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 李宁
地址 614000 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种单晶炉炉底冷却装置和单晶炉，其中单晶炉炉底冷却装置包括炉底盘和设置于炉底盘上的排气管和电极，还包括用于冷却水流入的进水主管和用于冷却水流出的出水主管，以及多个进水分管和出水分管；其中任意一个排气管的一端均通过任意一个进水分管与进水主管相连，另一端均通过任意一个出水分管与出水主管相连；任意一个电极的一端均通过任意一个进水分管与进水主管相连，另一端均通过任意一个出水分管与出水主管相连。该装置能够均匀的冷却单晶炉炉底的排气管及电极，既能保证设备的安全性，又能避免氧化物聚集堵塞管道，从而有效保证了生产的顺利进行。