一种单晶炉配套设备撬装装置
基本信息
| 申请号 | CN202023234404.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213951416U | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN213951416U | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 杨刚;杨佩均;马自成;张军 | 申请（专利权）人 | 四川永祥硅材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都欣圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王海文 |
| 地址 | 614000 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种单晶炉配套设备撬装装置，包括：底座，可移动，起承载作用；真空泵，安装于底座前部，设有吸气管路和排气管路；振动过滤器，安装于底座中部，包括进气口和排气口，进气口经管路与单晶炉连接，排气口与真空泵的吸气管路连接；液压系统柜，安装于底座的后部，用于驱动单晶炉上的提升机构；控制箱，安装于底座的后部，与真空泵、振动过滤器和液压系统柜电性连接；其中，真空泵、振动过滤器、液压系统柜和控制箱均定位固定安装于底座上。该撬装装置实现单晶炉各配套设备的标准化模块化布局，管道线路分布合理，方便安装、拆换，便于后期维护，整体布局统一，增加车间布局美观性和空间利用率。 |
