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一种单晶炉预埋式安装结构

基本信息

申请号 CN202023173305.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213925134U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213925134U 申请公布日 2021-08-10
分类号 C30B35/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 杨刚;杨佩均;马自成 申请（专利权）人 四川永祥硅材料有限公司
代理机构 成都欣圣知识产权代理有限公司 代理人 王海文
地址 614000 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种单晶炉预埋式安装结构,涉及单晶炉设备技术领域。该单晶炉预埋式安装结构包括单晶炉、基架和基座。单晶炉安装在基架上，基架固定在基座的顶部。基座的一侧沿其高度方向开设有容纳口，回水管和进水管横向嵌设在容纳口内，主抽空管竖直地嵌设在容纳口内，回水管和进水管分别位于主抽空管的左右两侧。基座内预置有电源控制箱，电源控制箱的输入端电性连接有电源线和信号线路，电源控制箱的输出端电性连接有电源柜接口、真空泵接口、过滤罐接口和液压站接口。优化后的管路和线路的布局可以提高设备的维修效率，减少管路的弯折现象，杜绝因管路引起的炉台故障和安全事故隐患。