一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备

基本信息

申请号 CN201821051758.8 申请日 -
公开(公告)号 CN208505990U 公开(公告)日 2019-02-15
申请公布号 CN208505990U 申请公布日 2019-02-15
分类号 G01N30/02 分类 测量;测试;
发明人 李善俊;石洪强 申请(专利权)人 智胜化工股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 366013 福建省三明市永安市坂尾90号
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于检测电子级高纯二氧化碳中烃的设备,包括一个用于制备高纯二氧化碳的CO2提纯装置,还包括用于检测总烃的第一色谱分析仪和用于检测甲烷烃的第二色谱分析仪,CO2提纯装置输出端与第一色谱分析仪输入端连接以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的总烃含量;CO2提纯装置输出端与第二色谱分析仪输入端连接,以用于检测该CO2提纯装置输出的高纯二氧化碳中的甲烷烃含量。本实用新型能有效的对高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃进行在线分析,并保存数据和图谱,便于查询;能对高纯二氧化碳中的总烃和甲烷烃进行有效的检测,保证产品的质量;电子级高纯二氧化碳可用于验证工艺净化的有效性。