一种高亮度AlGaInP发光二极管及其制造方法

基本信息

申请号 CN201110363791.0 申请日 -
公开(公告)号 CN103117349A 公开(公告)日 2013-05-22
申请公布号 CN103117349A 申请公布日 2013-05-22
分类号 H01L33/30(2010.01)I;H01L33/10(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 肖志国;高本良;武胜利 申请(专利权)人 大连美明外延片科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 116025 辽宁省大连市高新区高能街1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种高亮度AlGaInP发光二极管及其制造方法。采用复合式BDR结构解决了传统DBR反射角小的问题。复合式DBR结构由上、下两层DBR组成,其中下DBR层经过部分氧化,提高了与上DBR层的折射率差,提高了光的反射效率。并且同时采用周期纹理和表面粗化,进一步破坏表面的全反射。本发明提高了芯片的出光效率和出光角度,实现了芯片亮度的提升。同时由于破坏了芯片表面的全反射,减少光在芯片内部转化成热的机会,降低芯片温度,提高器件的性能和可靠性,并且工艺简单、成本低。