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一种扩张翻转一体化设备

基本信息

申请号 CN201220602338.0 申请日 -
公开（公告）号 CN203026488U 公开（公告）日 2013-06-26
申请公布号 CN203026488U 申请公布日 2013-06-26
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 肖志国;任永硕;唐勇;郭建华 申请（专利权）人 大连美明外延片科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 116600 辽宁省大连市开发区黄海大道1号
法律状态 -

摘要

摘要 一种扩张翻转一体化设备，涉及半导体行业晶圆扩张、翻转技术领域。该设备包括操作台、支撑架、上气缸、上托盘、下托盘、金属环支架、切膜刀和锁扣。本实用新型既可以实现常规的扩张步骤，也可以实现翻转步骤，达到投资费用低，操作步骤少，降低耗材的消耗，提高生产效率等目的。