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一种用于真空环境型原子力显微镜的光机结构装置

基本信息

申请号 CN201820429862.X 申请日 -
公开（公告）号 CN208043857U 公开（公告）日 2018-11-02
申请公布号 CN208043857U 申请公布日 2018-11-02
分类号 G01Q60/24;G01Q30/02 分类 测量；测试;
发明人 韩雄;都有为;王矛宏;钱锋;王辰成 申请（专利权）人 苏州飞时曼精密仪器有限公司
代理机构 北京远大卓悦知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 苏州飞时曼精密仪器有限公司
地址 215163 江苏省苏州市高新区东渚镇协新路22号厂房二楼东
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于真空环境型原子力显微镜的光机结构装置，具有真空腔体模块、上光学成像及激光检测模块、下光学成像模块；真空腔体模块包括真空腔、压电位移台、压电扫描器、载物片、样品台、探针和探针座；上光学成像及激光检测模块包括物镜、手动位移台、半透半反镜、激光器、可调反光镜、四象限探测器、光源和图像传感器；下光学成像模块包括物镜、手动位移台、光源、半透半反镜和图像传感器；本案首次在原子力显微镜的光机结构中设计了上下两套辅助光学成像装置，能同时用于材料样品或生物样品的精确扫描定位，而且首次使原子力显微镜光路与辅助光学成像系统光路集成一体，使得整个系统光路简化、结构紧凑。