太阳能电池扩散炉尾气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202120284277.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214279999U | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN214279999U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄晓狄;林锦山;张超华 | 申请（专利权）人 | 福建金石能源有限公司 |
| 代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人 | 张磊 |
| 地址 | 362200福建省泉州市晋江市经济开发区（五里园）泉源路17号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，它包括与氮气管道相连的氮气支路、与氮气支路出口端相连的纯水瓶以及进气端与纯水瓶出气端相连的水汽支路；所述氮气支路出口端位于纯水瓶的水中；所述水汽支路的出气端与扩散炉的尾气管相连。本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其能够减少固体杂质（氧化磷等）堵塞尾气管道,从而影响腔室扩散环境，而且其维护部件少,维护时间短，结构简单易改造。 |
