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氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置

基本信息

申请号 CN201810642471.0 申请日 -
公开（公告）号 CN108872349B 公开（公告）日 2018-11-23
申请公布号 CN108872349B 申请公布日 2018-11-23
分类号 G01N27/416(2006.01)I 分类 -
发明人 孙卫龙;魏勇建;贺立龙;周妤;钱璐;秦雄雄;付研博;吴垠昊 申请（专利权）人 西安创研电子科技有限公司
代理机构 西安永生专利代理有限责任公司 代理人 西安创研电子科技有限公司
地址 710065陕西省西安市雁塔区电子西街3号201-301厂房东配楼1层
法律状态 -

摘要

摘要 一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置，依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性，根据检测对象，配置出相应浓度的氧气；将氮氧传感器陶瓷芯片加热到合适的工作温度，再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压，测试该氧泵电流和氧浓差电势；根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势，判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。本发明具有工作效率高、节省人力、对待测芯片无损伤的优点。