TDC控制系统、方法和膜厚检测装置
基本信息
申请号 | CN201911140672.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110836832A | 公开(公告)日 | 2020-02-25 |
申请公布号 | CN110836832A | 申请公布日 | 2020-02-25 |
分类号 | G01N5/00;G01R23/10;G05B19/042 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 弗拉基米尔·克雷姆尼察;王龙;敬文华 | 申请(专利权)人 | 苏州萃智光电设备有限公司 |
代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 谢玲 |
地址 | 215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明的实施例提供了一种TDC控制系统、方法和膜厚检测装置,涉及质量检测技术领域。该TDC控制系统包括均与微处理器电连接的状态机、所述第一数据选择输出模块和时间数字转换器,状态机与第二数据选择输出模块电连接,第一数据选择输出模块、第二数据选择输出模块均与时间数字转换器电连接,第一数据选择输出模块和第二数据选择输出模块均包括多个具有不同延时时长的延时通道。通过第一数据选择输出模块和第二数据选择输出模块可调节开始信号和结束信号向时间数字转换器发送的时间,使得较短延时链长度的时间数字转换器能够得到准确和稳定的第一时间间隔值和第二时间间隔值,从而获得更准确和稳定的待测频率波形的频率。 |
