一种具有过流限制功能的多晶硅及其构建方法

基本信息

申请号 CN201811595361.X 申请日 -
公开(公告)号 CN111370478A 公开(公告)日 2020-07-03
申请公布号 CN111370478A 申请公布日 2020-07-03
分类号 H01L29/739;H01L21/331 分类 基本电气元件;
发明人 樱井建弥;吴磊 申请(专利权)人 上海睿驱微电子科技有限公司
代理机构 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘元霞
地址 201800 上海市嘉定区城北路235号3号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有过流限制功能的多晶硅,所述多晶硅包括:主绝缘栅双极型晶体管IGBT区域、分离区域及感测IGBT区域,所述分离区域位于所述主IGBT区域与所述感测IGBT区域之间,所述分离区域设置用于对IGBT进行过流限制的过流限制区域;所述过流限制区域在SiO2上设置有用于联合实现过流限制功能的齐纳二极管、双极过流限制三级管、第一温度补偿二极管、第二温度补偿二极管、第一检测电阻以及第二检测电阻;主IGBT区域的上方设置有发射极;主IGBT区域、分离区域及感测IGBT区域的下方设置有n‑型漂移区,所述n‑型漂移区的下方设置n+型缓冲区,所述n+型缓冲区的下方设置p+型集电极区,p+型集电极区的下方连接所述集电极。