具有空穴载流路径的IEGT及其构建方法

基本信息

申请号 CN201811595355.4 申请日 -
公开(公告)号 CN111370476A 公开(公告)日 2020-07-03
申请公布号 CN111370476A 申请公布日 2020-07-03
分类号 H01L29/739;H01L29/06;H01L29/423;H01L21/331 分类 基本电气元件;
发明人 樱井建弥;吴磊 申请(专利权)人 上海睿驱微电子科技有限公司
代理机构 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 刘元霞
地址 201800 上海市嘉定区城北路235号3号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种具有空穴载流路径的IEGT,该具有空穴载流路径的IEGT包括:发射极、n+型发射区、栅极、基极区、p型MOSFET管、n‑型漂移区、n+型缓冲区、p+型集电极区、以及集电极;n‑型漂移区的上方间隔设置基极区和栅极,p型MOSFET管设置在基极区,p型MOSFET管在IEGT的主沟槽栅极的导通时间期间截止,并且在主沟槽栅极的截止时间期间导通;除设置有p型MOSFET管的基极区以外的其它基极区表面的两侧设有n+型发射区,n+型发射区上方设有与n+型发射区连接的发射极;n‑型漂移区的下方设置n+型缓冲区,n+型缓冲区的下方设置p+型集电极区,p+型集电极区的下方连接集电极。本发明具有空穴载流路径的IEGT的通态电压及关断损耗均比较低。