用于单晶炉的水冷热屏装置

基本信息

申请号 CN201811472042.X 申请日 -
公开(公告)号 CN109554753A 公开(公告)日 2019-04-02
申请公布号 CN109554753A 申请公布日 2019-04-02
分类号 C30B29/06(2006.01)I; C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 李育坚; 詹勇军; 钟柳文; 徐刚 申请(专利权)人 佛山圣哥拉太阳能科技有限公司
代理机构 广州科粤专利商标代理有限公司 代理人 谭健洪;莫瑶江
地址 528000 广东省佛山市南海区桂城街道简平路1号天安南海数码新城1栋1110室自编号之一室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供的一种用于单晶炉的水冷热屏装置,包括进水管、出水管及水冷套,所述水冷套内设有水冷流道,所述进水管及出水管与所述水冷流道连通,该水冷热屏装置设置于所述单晶炉内液面上方,所述水冷套朝向所述液面一端连接有传热部件,所述传热部件与所述水冷套之间形成有具有临界温度的导热路径,所述临界温度小于所述水冷套朝向所述液面一端的材质熔点,当所述导热路径达至临界温度时,所述导热路径呈断开状态;通过应用有传热部件,使本发明的水冷热屏装置相比传统水冷热屏的应用,能使单晶生长速度进一步提高;同时能避免发生硅液熔穿水冷套导致单晶炉内的反应爆炸事故。