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一种CVD膜片的酸洗方法

基本信息

申请号 CN201810307229.8 申请日 -
公开（公告）号 CN108405457A 公开（公告）日 2018-08-17
申请公布号 CN108405457A 申请公布日 2018-08-17
分类号 B08B3/08;B08B3/12 分类 清洁;
发明人 樊巍;范艳芬 申请（专利权）人 河南佰特科技有限公司
代理机构 洛阳润诚慧创知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 河南佰特科技有限公司
地址 471000 河南省洛阳市高新开发区延光路火炬创新创业园A5号
法律状态 -

摘要

摘要 一种CVD膜片的酸洗方法，涉及金刚石领域，包含如下步骤：一、准备工作，领取CVD膜片，检查设备、地面卫生是否合格，工具是否齐全；二、进行酸洗：A、检查烧瓶并吹干；B、将膜片掰开倒入烧瓶中；C、将烧瓶固定在酸洗架子上；D、加酸；E、点火后立即装上隔离罩；F、酸洗完成后将烧瓶、冷凝器、碱水瓶等各个接口处断开；G、烧瓶冷却1个小时；H、将酸洗好的膜片倒入烧杯中用清水清洗再进行超声波清洗；I、用热风枪将膜片吹干，并清点数量；三、酸洗完毕打扫卫生。本发明所述的酸洗方法完全能满足CVD膜片的酸洗需求，本发明具有操作简单、酸洗效率高、无污染等特点，适合大范围的推广和应用。