一种金刚石薄膜真空沉积炉装置
基本信息
| 申请号 | CN201721586098.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207608617U | 公开（公告）日 | 2018-07-13 |
| 申请公布号 | CN207608617U | 申请公布日 | 2018-07-13 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C16/27 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 樊巍 | 申请（专利权）人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新开发区延光路火炬创新创业园A5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种金刚石薄膜真空沉积炉装置，包括底座、炉体、上盖、沉积台总成和等离子发生器，所述的底座设置在底部，炉体设置在底座的上部，上盖设置在炉体的上部，沉积台总成设置在底座的中心上部，等离子发生器设置在上盖的中心下部；所述的炉体为圆筒结构，炉体的上下贯通，炉体为双层结构，在内层和外层之间设置有炉体水道，内层的内侧为炉体内腔，炉体的侧面设置有炉口，炉口外侧设置有炉门座；通过本实用新型的实施，达到了良好的使用效果：金刚石薄膜真空沉积炉装置有效的克服了传统的炉体温度过高的问题，极大的提高了炉体的稳定性，减少了废品的产生，并且避免了温度过高对炉体的损坏，提高了生产安全，给企业带来更高的效益。 |
