一种金刚石薄膜专用真空炉沉积台
基本信息
| 申请号 | CN201721586297.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207608629U | 公开（公告）日 | 2018-07-13 |
| 申请公布号 | CN207608629U | 申请公布日 | 2018-07-13 |
| 分类号 | C23C16/27 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 樊巍 | 申请（专利权）人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新开发区延光路火炬创新创业园A5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种金刚石薄膜专用真空炉沉积台，包括沉积台面、沉积座、导柱、升降旋转装置，所述的沉积台面设置在最上部，沉积座设置在沉积台面的下部，导柱设置在沉积座的下部，旋转升降装置设置在真空炉的下部与导柱的下端连接；所述的沉积台面为圆盘结构，沉积台面上表面为金刚石薄膜的沉积面，下表面上均匀设置有放射状的冷却槽，沉积台面下表面的中心为半圆形中心凹槽；通过本实用新型的实施，达到了良好的使用效果：该金刚石薄膜专用真空炉沉积台的结构合理，冷却效率很高，散热效果良好，提高了人员的工作效率，由于散热均匀，有效的减小金刚石薄膜的废品率和次品率，减少了由此造成浪费和损失。 |
