一种CVD金刚石厚膜的晶种种植方法
基本信息
| 申请号 | CN201810307217.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108411276B | 公开（公告）日 | 2019-12-03 |
| 申请公布号 | CN108411276B | 申请公布日 | 2019-12-03 |
| 分类号 | C23C16/02;C23C16/27 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 樊巍;范艳芬 | 申请（专利权）人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳润诚慧创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河南佰特科技有限公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市高新开发区延光路火炬创新创业园A5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种CVD金刚石厚膜的晶种种植方法，涉及金刚石领域，包含如下步骤：首先对钼衬底的表面进行预处理，处理时钼衬底上表面要在抛光机上加入金刚石微粉研磨，将钼衬底表层的碳化钼去除，使表面光滑颜色光亮无划痕，要求不存在钼和碳化钼分层，接着对钼衬底进行细磨，细磨用硬质合金片加入不同粒度的金刚石微粉进行研磨。本发明所述的晶种种植方法弥补了现有技术中CVD金刚石厚膜制造方法尚不规范的空白，且制备的金刚石厚膜具有稳定可靠和沉积速率高等特点，完全能满足实际需求，本发明技术方案简单，适合大范围的推广和应用。 |
