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一种旋转放置平台机构

基本信息

申请号 CN202020005937.9 申请日 -
公开（公告）号 CN212126550U 公开（公告）日 2020-12-11
申请公布号 CN212126550U 申请公布日 2020-12-11
分类号 B65G29/00(2006.01)I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 陈跃华;彭从峰;卜志超;陈时兴 申请（专利权）人 浙江百盛光电股份有限公司
代理机构 杭州凌通知识产权代理有限公司 代理人 浙江百盛光电股份有限公司
地址 314022浙江省嘉兴市南湖区余新镇新盛路262号1幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种旋转放置平台机构，包括固定底座；旋转底座，所述旋转底座转动安装在固定底座上，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态；其中，所述旋转底座的一端设有抱持机构；所述旋转底座上转动设有自转平台A和转动安装在自转平台A上的自转平台B，所述自转平台B上设有升降吸附装置，所述自转平台B上固定设有调节平台，所述调节平台上可选择的安装有支撑柱B。本实用新型的优点是：通过在自转平台B上增加的调节平台和安装在调节平台上的支撑柱B，能够使旋转平台放置机构测试不同尺寸的晶圆片，并且通过升降吸附装置能够使被测片即使在竖直状态下也能够实现自动旋转，不需要人工转动被测片，造成误差影响测试结果。