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一种晶圆片平面测量仪

基本信息

申请号 CN202020005939.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211552798U 公开（公告）日 2020-09-22
申请公布号 CN211552798U 申请公布日 2020-09-22
分类号 G01B21/30(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 陈跃华;彭从峰;卜志超;陈时兴 申请（专利权）人 浙江百盛光电股份有限公司
代理机构 杭州凌通知识产权代理有限公司 代理人 浙江百盛光电股份有限公司
地址 314022浙江省嘉兴市南湖区余新镇新盛路262号1幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆片平面测量仪，包括主机架；副机架，所述副机架顶部固定设有测试模组；其中，所述气浮平台上设有用于放置待测片的旋转放置平台和垂直于台面的标准平镜；所述旋转放置平台包括固定底座和转动连接在固定底座上的旋转底座，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态，所述旋转底座的一端设有抱持机构；在所述旋转底座上与所述抱持机构相对的另一端设有滑座，所述滑座上设有丝杆和与丝杆连接的滑动块，滑动块上设有推杆，用于推动被测片。本实用新型的优点是：通过增加推杆能够使晶圆片在竖直状态下受支撑产生的形变得到消除，提高测试的精确度，同时晶圆片竖直放置，减小了传统测试方法中重力对晶圆片的影响。