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一种晶圆片平面测量仪

基本信息

申请号 CN202010003640.3 申请日 -
公开（公告）号 CN111146107A 公开（公告）日 2020-05-12
申请公布号 CN111146107A 申请公布日 2020-05-12
分类号 H01L21/66;G01B21/32;G01R31/26 分类 基本电气元件;
发明人 陈跃华;彭从峰;卜志超;陈时兴 申请（专利权）人 浙江百盛光电股份有限公司
代理机构 杭州凌通知识产权代理有限公司 代理人 嘉兴百盛光电有限公司
地址 314022 浙江省嘉兴市南湖区余新镇新盛路262号1幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆片平面测量仪，包括主机架；副机架，所述副机架顶部固定设有测试模组；气浮平台，固定安装于主机架上；所述气浮平台上设有用于放置待测片的旋转放置平台和垂直于台面的标准平镜，所述测试模组位于标准平镜和被测片之间；所述旋转放置平台包括固定底座和转动连接在固定底座上的旋转底座，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态，所述旋转底座的一端设有抱持机构。本发明的优点是：通过将需要测试的晶圆片竖直放置，减小了传统测试方法中重力对晶圆片的影响，同时增加了一个传感器，形成双传感器，减小测试模组在运动时产生的误差，增加了测量仪的精确度也能保证重复性测量的一致性。