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一种旋转放置平台机构

基本信息

申请号 CN202010003625.9 申请日 -
公开（公告）号 CN111137628B 公开（公告）日 2021-07-27
申请公布号 CN111137628B 申请公布日 2021-07-27
分类号 B65G29/00（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 陈跃华;彭从峰;卜志超;陈时兴 申请（专利权）人 浙江百盛光电股份有限公司
代理机构 杭州凌通知识产权代理有限公司 代理人 李仁义
地址 314022浙江省嘉兴市南湖区余新镇新盛路262号1幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种旋转放置平台机构，用于晶圆片测试，包括固定底座；旋转底座，所述旋转底座转动安装在固定底座上，所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态；其中，所述旋转底座的一端设有抱持机构，用于抱持住被测片；所述旋转底座上转动设有自转平台A和转动安装在自转平台A上的自转平台B，所述自转平台B上设有升降吸附装置，用于配合抱持机构固定或释放被测片。本发明的优点是：通过升降吸附装置能够使被测片即使在竖直状态下也能够实现自动旋转，不需要人工转动被测片，造成误差影响测试结果，并且升降吸盘在被测片需要进行转向时升起吸住被测片旋转，在测试时降低高度，不妨碍被测片进行测试，增加了旋转放置平台机构的灵活性。