将高斯光束整形为平顶光束的衍射光学元件及制备方法

基本信息

申请号 CN201310319483.7 申请日 -
公开(公告)号 CN103399406B 公开(公告)日 2015-07-29
申请公布号 CN103399406B 申请公布日 2015-07-29
分类号 G02B27/09(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分类 光学;
发明人 王晓峰;潘岭峰 申请(专利权)人 北京润和微光科技有限公司
代理机构 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京润和微光科技有限公司
地址 100084 北京市海淀区清华科技园创业大厦1005A
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种新的实现高斯转平顶的衍射光学元件,简称DOE,并提供了所述DOE的制备方法。在石英基片中心处制备不同形状、不同尺寸的凹槽或台阶,而后将DOE置于光路中的不同位置,与扩束准直镜以及聚焦透镜配合,实现平顶光束。本发明所涉及DOE具有以下几个突出优点:能量透过率高,对入射激光模式变化较不敏感,安装使用简单、灵活。