将高斯光束整形为平顶光束的衍射光学元件及制备方法
基本信息
申请号 | CN201310319483.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103399406B | 公开(公告)日 | 2015-07-29 |
申请公布号 | CN103399406B | 申请公布日 | 2015-07-29 |
分类号 | G02B27/09(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 王晓峰;潘岭峰 | 申请(专利权)人 | 北京润和微光科技有限公司 |
代理机构 | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 北京润和微光科技有限公司 |
地址 | 100084 北京市海淀区清华科技园创业大厦1005A | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出一种新的实现高斯转平顶的衍射光学元件,简称DOE,并提供了所述DOE的制备方法。在石英基片中心处制备不同形状、不同尺寸的凹槽或台阶,而后将DOE置于光路中的不同位置,与扩束准直镜以及聚焦透镜配合,实现平顶光束。本发明所涉及DOE具有以下几个突出优点:能量透过率高,对入射激光模式变化较不敏感,安装使用简单、灵活。 |
