将高斯光束整形为一维平顶光束或长方形平顶光束的衍射光学元件

基本信息

申请号 CN201510197171.2 申请日 -
公开(公告)号 CN104765087A 公开(公告)日 2015-07-08
申请公布号 CN104765087A 申请公布日 2015-07-08
分类号 G02B5/18(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分类 光学;
发明人 马衍强;王晓峰;潘岭峰;彭亦超 申请(专利权)人 北京润和微光科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100084 北京市海淀区清华科技园创业大厦1005A
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种新的实现高斯光束转一维平顶光束或长方形平顶光束的衍射光学元件,简称DOE,并提供了所述DOE的制备方法。在石英基片的中心处制备不同形状、不同尺寸的凹槽或台阶,而后将DOE置于光路中不同位置,与扩束准直镜以及聚焦透镜配合,实现一维平顶光束或长方形平顶光束。本发明所涉及DOE具有以下几个突出的优点:能量透过率高,对入射激光模式变化较不敏感,安装使用简单、灵活。