一种5G通信关键射频芯片材料

基本信息

申请号 CN201910687251.4 申请日 -
公开(公告)号 CN110400742B 公开(公告)日 2019-11-01
申请公布号 CN110400742B 申请公布日 2019-11-01
分类号 H01L21/02(2006.01)I;C09G1/02(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 不公告发明人 申请(专利权)人 北京信唐智创电子科技有限公司
代理机构 广州天河万研知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京大唐智创科技有限公司
地址 100089北京市海淀区北清路164号17-27号院032号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种5G通信关键射频芯片材料,该射频芯片材料的制备过程包括如下步骤:将氮化镓晶片经过初步的切割、磨削、研磨处理后,进行精抛光处理,精抛光后对氮化镓晶片表面进行清洗剂洗涤,然后干燥,即得射频芯片材料。本发明制备得到的射频芯片材料具有更低的表面粗糙度,表面光滑呈原子台阶形貌,且无划痕、凹坑等表面缺陷,在5G、物联网、智能汽车等应用领域有望得到广泛应用。