具有钝化接触层并叠加复合钝化层的铸造单晶硅钝化结构
基本信息
申请号 | CN202111435868.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114203832A | 公开(公告)日 | 2022-03-18 |
申请公布号 | CN114203832A | 申请公布日 | 2022-03-18 |
分类号 | H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 沈文忠;李正平;王闻捷;裴骏 | 申请(专利权)人 | 江苏林洋光伏科技有限公司 |
代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 王毓理;王锡麟 |
地址 | 200240上海市闵行区东川路800号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种具有钝化接触层并叠加复合钝化层的铸造单晶硅钝化结构,以n型铸造单晶硅为基底,在基底两侧对称地由内到外依次生长有超薄氧化硅层(SiOx)、磷掺杂多晶硅层(poly‑Si(n))、氧化铝层(AlOx)和氢化氮化硅层(SiNx:H)。本发明采用性能优异的钝化层,有效钝化铸造单晶硅的表面缺陷,能够降低载流子复合损失,有利于制造高转换效率的铸造单晶硅太阳电池。 |
