布拉格光栅芯片

基本信息

申请号 CN202110433637.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113009626A 公开(公告)日 2021-06-22
申请公布号 CN113009626A 申请公布日 2021-06-22
分类号 G02B6/12;G02B6/122 分类 光学;
发明人 陈亦凡;严亭 申请(专利权)人 易锐光电科技(安徽)有限公司
代理机构 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 唐静芳
地址 243000 安徽省马鞍山市慈湖高新区霍里山大道北段1669号2栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种布拉格光栅芯片,包括基板、设置在基板上的二氧化硅层、设置在二氧化硅层上的波导、以及设置在波导侧面且用以分布式反射光线的点阵光栅,点阵光栅和至少部分波导相离设置,通过控制波导和点阵光栅之间的距离,可实现稳定的有效折射率微扰,得到极窄带(≤0.2nm)滤波性能,该结构简单,制备难度低且易控制,一致性和稳定性强。