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一种电子束激发荧光大范围直接探测成像装置及其方法

基本信息

申请号 CN201611261465.8 申请日 -
公开（公告）号 CN108279247B 公开（公告）日 2019-07-26
申请公布号 CN108279247B 申请公布日 2019-07-26
分类号 G01N23/2251（2018.01）I; G01J1/42（2006.01）I; G01J1/04（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 朱瑞; 徐军; 刘亚琪 申请（专利权）人 北京金竟科技有限责任公司
代理机构 北京万象新悦知识产权代理有限公司 代理人 北京金竟科技有限责任公司
地址 100095 北京市海淀区翠湖南环路13号院1号楼4层416室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电子束激发荧光大范围直接探测成像装置及其方法。本发明的成像装置包括：扫描电子显微镜系统、扫描信号发生器、荧光收集耦合系统、半导体光探测器、扫描同步信号采集器、协同控制与数据处理输出系统；本发明采用模块化的构架，各模块的配置调整及后续升级非常灵活便利；通过引入半导体光探测器的大面积半导体光电探测芯片，使得在扫描电子显微镜系统在大成像视野范围内所激发的荧光均能够以相同的高收集效率会聚耦合至半导体光探测器，解决了大范围荧光扫描成像所得到的图像难以使用统一的标准来测算和比较不同位置处的荧光激发强度或荧光激发产率的问题，能够完成基于电子束激发荧光信号的大范围快速检测分析。