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图案化蓝宝石衬底的制作工艺

基本信息

申请号	CN201210158040.X	申请日	-
公开（公告）号	CN103426980A	公开（公告）日	2013-12-04
申请公布号	CN103426980A	申请公布日	2013-12-04
分类号	H01L33/00(2010.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	梁红凯;王宏;谷战智	申请（专利权）人	吉林省九洲光电科技股份有限公司
代理机构	吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司	代理人	唐永
地址	136000 吉林省四平市铁东经济开发区南宁路7979号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种图形化感应偶合电浆蓝宝石衬底的制作方法。该制作工艺包括如下步骤：对待蓝宝石衬底基板进行清洁处理；将蓝宝石与所述衬底对准安装，并将所述正面按设定距离设置匀胶涂佈在基板上；1.3根据预设的曝光条件进行投影曝光；对曝光后的衬底进行显影处理；对显影后的衬底进行干刻处理，将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；设定感应偶合电浆刻蚀腔的温度和真空度、以及冷却循环机的控制温度后，将干刻处理后的衬底放入刻蚀腔中的载片基台上；通入感应偶合电浆刻蚀气体对衬底进行刻蚀，通过输出频源和折射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过所述冷却循环机对所述载片基台进行冷却。我们以感应偶合电浆蓝宝石衬底的制作方法，将大大提高生产率、图形一致性、成品率高且工艺稳定。