一种高效LED晶粒分选方法

基本信息

申请号 CN202111435230.7 申请日 -
公开(公告)号 CN114141666A 公开(公告)日 2022-03-04
申请公布号 CN114141666A 申请公布日 2022-03-04
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 郭祖福;官婷;彭超;刘奇艳 申请(专利权)人 湘能华磊光电股份有限公司
代理机构 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 代理人 刘伊旸;周晓艳
地址 423038湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种高效LED晶粒分选方法,包括如下步骤:步骤1、在第一次分选时,将多个晶圆上不超过30颗的散Bin汇总至同一个指定等级内,且散Bin排满第一片蓝膜后,继续排放在下一片蓝膜上;步骤2、将蓝膜上的部分散Bin分选至对应的电性等级内,所有蓝膜上的剩余部分散Bin汇总后再分选,直至所有散Bin均被分选至对应的电性等级内。本申请实现了对不同晶圆上散Bin的一次性集中分选,减少了分选机换铁片(电性等级)的时间,增加了芯片产能。