一种单晶硅片抛光液回收过滤装置
基本信息
| 申请号 | CN202021860422.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213965526U | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN213965526U | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | B01D36/02（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 向菊 | 申请（专利权）人 | 深圳市羿烽科技有限公司 |
| 代理机构 | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郝艳平 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区西乡街道桃源社区前进二路134号锦联大厦A708 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及单晶硅片加工技术领域，特别涉及一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，包括机体，所述机体中设有离心滤筒，所述离心滤筒顶部固定连接有驱动装置，所述离心滤筒底部中心穿设有排渣管，所述排渣管的下端穿出所述机体连接有进水管，所述机体的上部穿设有出液管，所述离心滤筒与所述机体内壁之间设有过滤装置。与现有技术相比，本实用新型提供的一种单晶硅片抛光液回收过滤装置，结构设置合理，将抛光液经过双重过滤后回收利用，过滤比较彻底，抛光液依次通过离心滤筒进行初步过滤，及通过环形筛板进行二次过滤，极大提高过滤效率，同时扰动机体内部水流，避免杂物大量附着于离心滤筒表面，具有广阔市场价值。 |
