用于箱体间的密封定位台
基本信息
申请号 | CN201220725961.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN203131019U | 公开(公告)日 | 2013-08-14 |
申请公布号 | CN203131019U | 申请公布日 | 2013-08-14 |
分类号 | F16J15/06(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热; |
发明人 | 王奉瑾 | 申请(专利权)人 | 北京科普斯特自动化仪表有限公司 |
代理机构 | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人 | 张全文 |
地址 | 528400 广东省中山市火炬开发区兴业路2号4楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及密封定位台的设计领域,尤其涉及用于箱体间的密封定位台。本实用新型提供了用于箱体间的密封定位台,包括定位座和若干密封夹紧组件,在所述定位座上设置定位槽,通过定位槽实现对并排的各箱体的基本定位;在所述定位槽上开设成对设置于定位槽两侧壁的卡槽,配合卡条的使用,一方面可实现对各箱体的夹紧定位作用,一方面可使本实用新型的密封定位台能够适应不同箱体个数的定位需求;通过密封夹紧组件的密封作用,实现两相邻箱体之间缝隙的密封。其采用结构简洁的设计方式,实现了并排设置的箱体间的定位和密封的设计效果,可适应不同工艺需求的半导体制造流程的要求,为实现半导体集成密封制造系统的模块化提供必要的准备与前提。 |
