首页/ 无锡锐思智能焊接装备有限公司/ 专利详情

一种晶圆清洗甩干方法

基本信息

申请号 CN202110281585.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113013070A 公开（公告）日 2021-06-22
申请公布号 CN113013070A 申请公布日 2021-06-22
分类号 H01L21/67;B08B3/12;B08B5/02;B08B13/00 分类 基本电气元件;
发明人 欧阳伟;杨家伟;李响忠 申请（专利权）人 无锡锐思智能焊接装备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214000 江苏省无锡市新吴区梅村金城东路504
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种晶圆清洗甩干方法，包括以下步骤：人工上料框；垂直翻转机构将料框垂直翻转；第一搬运机构将料框搬运至超声波清洗机构，对料框超声波清洗；第一搬运机构将精洗后的料框搬运至风刀清洁机构，对料框风刀清洁；料框进入缓存及翻转复位机构翻转复位；第一搬运机构将料框搬运至水平旋转提升机构，将料框水平旋转及提升；拆片码片机构将料框中的产品拆片；第二搬运机构将单片产品搬运至清洗甩干机构，将单片产品清洗甩干。该方法工序简单，集料框的上料、垂直翻转、搬运、超声波清洗、翻转复位、水平旋转提升、拆片及清洗甩干于一体，集成化程度高，生产效率高，节省人工，实现了连续自动化生产。