一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆

基本信息

申请号 CN202020206680.3 申请日 -
公开(公告)号 CN211183922U 公开(公告)日 2020-08-04
申请公布号 CN211183922U 申请公布日 2020-08-04
分类号 H03H9/19(2006.01)I;H03H1/00(2006.01)I 分类 -
发明人 李宗杰 申请(专利权)人 广东惠伦晶体科技股份有限公司
代理机构 广东莞信律师事务所 代理人 钟宇宏
地址 523000广东省东莞市黄江镇黄江东环路68号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆,该晶圆包括阵列排布的石英压电晶片,所述石英压电晶片具有一基底,所述基底一端的上表面与下表面对称设置有凹槽,所述凹槽中部设置有凸台,所述凸台的高度小于凹槽的深度。该石英压电晶片具有凹槽式双凸台晶体结构,凸台与基底边缘之间的凹槽区域形成晶片第一能陷区;凸台为晶片的主振荡区,且凸台的高度小于凹槽的深度,形成晶片的第二能陷区;所以,该石英压电晶片的凹槽式双凸台结构在晶片上形成了双重能陷效果,大幅度增加了晶片的能量闭锁效益,从而降低了整个晶片的阻抗,最终使得整个晶振具有非常好的低频物理特性。