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导电薄膜方块电阻多探针测量头

基本信息

申请号 CN201921439542.3 申请日 -
公开（公告）号 CN210487867U 公开（公告）日 2020-05-08
申请公布号 CN210487867U 申请公布日 2020-05-08
分类号 G01R27/02 分类 测量；测试;
发明人 刘相华 申请（专利权）人 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
代理机构 上海骁象知识产权代理有限公司 代理人 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
地址 201203 上海市浦东新区盛夏路608号2幢506室
法律状态 -

摘要

摘要 一种导电薄膜方块电阻多探针测量头，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是提升边缘测量能力的技术问题。该测量头包括探头座，其特征在于：所述探头座上设有5个探针，该5个探针分别为第一探针、第二探针、第三探针、第四探针、第五探针；所述第一探针、第二探针、第三探针、第四探针依序等间距直线排列；所述第一探针、第四探针、第五探针布设成等腰三角形的形状，并且第五探针位于在等腰三角形的顶角部，第一探针、第四探针分别位于等腰三角形的两底角部。本实用新型提供的测量头，用于导电薄膜的测量。