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导电薄膜多探针测量装置

基本信息

申请号 CN202020125069.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211554146U 公开（公告）日 2020-09-22
申请公布号 CN211554146U 申请公布日 2020-09-22
分类号 G01R27/02(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 刘相华;胡振贤 申请（专利权）人 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
代理机构 上海骁象知识产权代理有限公司 代理人 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
地址 201203上海市浦东新区盛夏路608号2幢506室
法律状态 -

摘要

摘要 一种导电薄膜多探针测量装置，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是控制探针力的技术问题。该装置包括测量基座、探头座；所述探头座上设有多根探针，每根探针上都设有弹性加力部件，所述测量基座上设有能上下活动的活动座，并且在测量基座上设有用于驱使活动座向上回位的弹性回位部件，所述探头座固定在活动座上；所述测量基座上设有推杆，及用于驱动推杆上下滑动的推杆驱动部件，推杆的下端抵住活动座，推杆上设有用于检测推杆所承受的竖向压力的压力传感器。本实用新型提供的装置，适用于测量导电薄膜方块电阻。