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导电薄膜多探针测量装置及其测量方法

基本信息

申请号 CN202010062468.9 申请日 -
公开（公告）号 CN111077373A 公开（公告）日 2020-04-28
申请公布号 CN111077373A 申请公布日 2020-04-28
分类号 G01R27/02;G01R1/067;G01R1/073;G01N27/04 分类 测量；测试;
发明人 刘相华;胡振贤 申请（专利权）人 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
代理机构 上海骁象知识产权代理有限公司 代理人 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
地址 201203 上海市浦东新区盛夏路608号2幢506室
法律状态 -

摘要

摘要 一种导电薄膜多探针测量装置及其测量方法，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是控制探针力的技术问题。该装置包括测量基座、探头座；所述探头座上设有多根探针，每根探针上都设有弹性加力部件，所述测量基座上设有能上下活动的活动座，并且在测量基座上设有用于驱使活动座向上回位的弹性回位部件，所述探头座固定在活动座上；所述测量基座上设有推杆，及用于驱动推杆上下滑动的推杆驱动部件，推杆的下端抵住活动座，推杆上设有用于检测推杆所承受的竖向压力的压力传感器。本发明提供的装置及方法，适用于测量导电薄膜方块电阻。