一种用于离子溅射仪的可调式支撑设备
基本信息
| 申请号 | CN201922317965.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211367712U | 公开（公告）日 | 2020-08-28 |
| 申请公布号 | CN211367712U | 申请公布日 | 2020-08-28 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 庄为 | 申请（专利权）人 | 湖南纳微新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 414000湖南省长沙市岳麓区岳麓街道溁左路中南大学科技园研发总部1栋179房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于离子溅射仪技术领域且公开了一种用于离子溅射仪的可调式支撑设备，包括支撑台面、升降杆和框架，所述支撑台面底部连接升降杆顶部；所述升降杆包括第一支杆、第二支杆和横杆；所述第一支杆与第二支杆连接；所述第一支杆之间设有横杆；所述第二支杆之间设有横杆；所述升降杆通过连接轴连接液压杆。本实用新型通过该升降工作台通过支杆来提供支撑力，液压杆提供固定作用，降低支杆部分承重，延长使用寿命，将工作台停留在任意高度，结构简单，成本较低；采用X型升降机构，锁紧位置，使用安全，结构简单、高度调节方便。 |
