一种用于晶圆的超声波清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202023254842.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215142797U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215142797U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 余涛;朴灵绪;郭巍 | 申请（专利权）人 | 若名芯半导体科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州铭浩知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱斌兵 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区4栋101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一直用于晶圆的超声波清洗设备，包括清洗箱，清洗箱内具有容纳腔，且容纳腔内设有晶圆放置盒；晶圆放置盒的一侧设有导液管；超声波设备设于所述晶圆放置盒一侧，还包括旋转电机，旋转电机设于晶圆放置盒上，用于将晶圆放置盒旋转；两个微调机构设于清洗箱的两侧外壁上，用于对晶圆放置盒的水平位置进行调整；水平传感器设于晶圆放置盒的上端，用于感应晶圆放置盒的位置，并驱动微调机构使晶圆放置盒水平放置，本实用新型通过两侧的气缸以及水平传感器确保晶圆放置盒内的晶圆一直处于水平位置，这样超声波设备能够有效快速的对晶圆进行清洗，而不会有清洗的死角存在，提升了晶圆的清洗效率，具有较好的实用性。 |
