基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法

基本信息

申请号	CN201010274207.X	申请日	-
公开（公告）号	CN101975559B	公开（公告）日	2012-01-11
申请公布号	CN101975559B	申请公布日	2012-01-11
分类号	G01B11/24(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	郭彤;马龙;陈津平;傅星;胡小唐	申请（专利权）人	天津微纳制造技术有限公司
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	杜文茹
地址	300000 天津市滨海新区经济技开发区第四大街80号A2-316
法律状态	-

摘要

一种基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法，系统有图像采集卡，数字CCD摄像机，显微光学系统，干涉物镜，可调倾斜工作台，PC机，纳米测量机，工作台倾斜控制器，通过光纤向显微光学系统提供光源的白光光源，PC机还分别连接图像采集卡和工作台倾斜控制器。方法是在纳米测量机的工作平台上固定可调倾斜工作台，将被测样品至于其上，由PC机控制纳米测量机带动可调倾斜工作台沿其倾斜角度完成扫描，CCD数字摄像机采集图像并由图像采集卡传至PC机进行后续处理；对于采集的图像进行追踪并进行干涉信号的提取后，进行零级干涉条纹的位置进行定位，最终确定表面形貌。本发明为无损的检测，消除了光源热效应的影响，可以实现0.1nm的位移分辨力。